Поиск по каталогу
Список стандартов
Скачать каталог
История создания каталога
Программа ЮНЕСКО «Информация для всех»
Информационный Портал «ЭЛЕКТРОННАЯ РОССИЯ»

ГОСТ 5.2105-73

Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Обозначение:ГОСТ 5.2105-73
Статус:действующий
Название рус.:Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Название англ.:Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products
Дата актуализации текста:15.03.2008
Дата актуализации описания:01.02.2008
Дата регистрации:17.08.1973
Дата введения в действие:01.09.1973
Область и условия применения:Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов


ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73


Все права защищены © 1991—2008 Ассоциация «Интернет-Технологии»
Проект создан в рамках реализации Федеральной Целевой Программы В.В. Путина «Электронная Россия», а также в соответствии с Постановлениями Правительства РФ и целого ряда судебных решений.
Выражаем сердечную благодарность нашим Друзьям из МОО ВПП ЮНЕСКО «Информация для всех» и ФЦП «ЭЛЕКТРОННАЯ РОССИЯ», без поддержки которых создание данного проекта было бы невозможным.
Электронные копии государственных стандартов не являются официальными документами и могут свободно распространяться без всяких ограничений.
Размещать информацию с этого сайта на любом другом сайте не только можно, но и нужно! :-)